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超纯水:芯片行业的纯度之战

2026-01-26 10:43:17

来源: 成都壹科医疗

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超纯水:芯片行业的纯度之战


       超纯水的严苛程度超乎想象,90nm制程要经历90次清洗,到65nm制程就增至130次左右,每一次都离不开绝对纯净的水源。很难想象有些生产线,每片晶圆耗水数吨,其中超纯水占比超九成。


       要达到这种纯度,自来水得闯过十几道关。多介质过滤先筛掉泥沙,活性炭吸附余氯,软化器去除钙镁离子防结垢,这三步预处理是基础。核心在反渗透系统,两级RO膜能除掉98% 以上的离子,优普纯水设备能把水提纯,加上紫外线分解有机物,抛光混床把离子降到痕量级,最后用超滤收尾,产出负责芯片半导体要求的纯水。


       如今超纯水技术正朝绿色化迈进,EDI模块耗电量比传统设备降低 40%,浓水回用率能到75%,在芯片自主可控的浪潮中,这股“纯净力量”不仅破解了水资源瓶颈,更在高端制造的赛道上筑牢了根基。


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